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硅烷是一系列硅与氢的化合物的总称,主要包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)等。硅烷是一种无色、易燃、有毒的气体,具有以下特点和应用:
高纯度:
硅烷可用于制造高纯度的多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅等材料。
多功能性:
硅烷能够实现精细控制,用于制备各种微电子薄膜,如氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。
半导体材料:
硅烷是半导体微电子工艺中使用的主要特殊气体,对制造太阳电池、平板显示器等高科技产品有重要作用。
表面处理:
硅烷化处理是一种金属或非金属材料的表面处理技术,能提高油漆对基材的附着力,并适用于多种基材。
环境友好:
与传统磷化处理相比,硅烷化处理无有害重金属离子、不含磷,且无需加温,是一种环保的技术。
硅烷在工业中有广泛的应用,尤其在微电子和光电子领域,是制造高性能硅基器件的关键原料之一